บีโอไอพร้อมสนับสนุนการลงทุนกลุ่มอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ต้นน้ำ หรือ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ด้วยการให้สิทธิประโยชน์พิเศษทางภาษี และสิทธิประโยชน์อื่น ๆ เพื่อเพิ่มขีดความสามารถในการแข่งขันให้กับผู้ประกอบการไทย ตลอดจนสร้างแรงจูงใจในการวิจัยและพัฒนาให้สามารถก้าวพร้อมไปกับการพัฒนาเทคโนโลยีและนวัตกรรมระดับโลกได้